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RTP快速退火炉

公布工夫:2017-11-16  阅读次数:641

产品型号:NBD-HR1200-110IT-170
商品简述:NBD HR系列高温快速热处理退火炉简称RTP。 
该产物接纳成熟的制造工艺,RTP快速退火炉-澳门永利平台官网,415161.com外型新奇构造公道; 
现在已被种种试样实行屡次考证,RTP快速退火炉并已普遍用于半导体器件研发及消费等范畴; 

该体系重要用于: 
1.可知足离子注入后的快速退火; 
2.也可用于欧姆打仗快速合金; 
3.借可用于硅化物合金退火,RTP快速退火炉氧化物发展; 
4.和铜铟镓硒光伏运用中的硒堆积等快速热处理工艺场所。 
该装备是国家专利珍爱产物,专利号:CN201310005931.6
快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),RTP快速退火炉正在成熟的消费制造工艺的基础上,自立研发了该款产物,具有发明专利。RTP快速退火炉该装备不只具有较快的升温速度500℃/S,并且正在烧结工艺运转结束,间接将试样正在高温区掏出。实现物理状况下的较快降温。我们的工程师们奇妙天应用了热壁工艺,RTP快速退火炉正在绿色节能环保的基础上实现了试样的快速起落温!
腔体接纳了差别的进气构造,内管进气,中管出气,RTP快速退火炉使得回响反映氛围取加工样品充裕而匀称天打仗。测温元件间接和试样打仗,包管试样温度的准确性。


RTP快速退火炉重要技术参数

1

项 目

重要技术指标

数据

2

规格型号

NBD-HR1200-110IT-170

3

温度掌握

最高温度点

1200℃

4

额定温度

1100℃

5

稳固状况温度局限

100~1000℃

6

温度丈量精度

±0.2℃

7

温度掌握重复性

±1℃

8

温度掌握精确度

±1℃

9

温场匀称性

±2℃

10

温度状况工艺工夫(S)

2~100(100~1000℃)

11

最快升温速度

500℃/S

12

降温速度(℃/S)

1~200(通氮气,速度更快)

13

温度掌握形式

智能恍惚齐闭环控制

14

软件功用

操控体系

NBD-101智能体系

15

用户界面

中英文交换

16

工艺菜单编纂

触屏式图象操纵界面

17

扩大端口

可扩大真空测控和FFC供气

18

看门狗

体系进入死轮回时封闭主控造器

19

热电偶校准状况检测

软件校准,轻易正确,软件剖析传感器状况是不是一般

20

超高温状况检测

软件检测出温度信息泛起高温非常时,割断主回路

21


触摸屏尺寸

7"LCD

22

物理目标

最大功率

15kw

23

额定电压

AC380~400V,50Hz(60Hz定制)

24

传感器范例

S型单铂铑

25

回响反映腔室内径尺寸

Φ100X200mm

26

式样有用空间

3.5"

27

真空度

4.3×10-3Pa(中配份子泵)

28

抽气端口尺寸

KF16(或Φ8mm浮屠嘴)

29

供气口尺寸

Φ6.35mm双卡套

30

冷却体式格局

天然冷却或自愿风冷N2或压缩空气:2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) 

31

形状净尺寸(mm)

少920×深500×下560

32

重量

净重65kg